基于微纳结构的太赫兹传感器

论文目录   摘要 第1-6页 ABSTRACT 第6-9页 第一章 绪论 第9-17页   1.1 太赫兹科学技术简介 第9页   1.2 人工合成的微纳结构技术简介 …

论文目录  
摘要 第1-6页
ABSTRACT 第6-9页
第一章 绪论 第9-17页
  1.1 太赫兹科学技术简介 第9页
  1.2 人工合成的微纳结构技术简介 第9-13页
  1.3 基于微纳结构的太赫兹传感器的发展 第13-16页
    1.3.1 基于微纳结构的太赫兹器件 第13-15页
    1.3.2 基于微纳结构的太赫兹传感器 第15-16页
  1.4 本论文的结构安排 第16-17页
第二章 太赫兹波段增强谐振阵列结构的研究 第17-36页
  2.1 高Q值谐振结构的研究 第17-27页
    2.1.1 LC模式和dipolar模式的Q值研究 第18-21页
    2.1.2 Fano共振和EIT模式Q值研究 第21-24页
    2.1.3 超单元结构Q值研究 第24-27页
  2.2 微纳阵列表面结构F-P谐振腔的增强谐振机制研究 第27-31页
  2.3 多层复合结构的电磁谐振机理的研究 第31-35页
  2.4 本章小结 第35-36页
第三章 基于微纳结构的太赫兹微流传感器的初步研究 第36-57页
  3.1 基于微纳结构的太赫兹微流传感器设计思路 第36-37页
  3.2 器件的单元设计与整体性能分析以及优化 第37-41页
    3.2.1 Traditional器件的性能研究 第38-40页
    3.2.2 Novel器件性能研究 第40-41页
    3.2.3 Traditional器件和novel器件性能对比 第41页
  3.3 不同频段的微流传感器性能研究 第41-48页
    3.3.1 2THzsensor 第41-43页
    3.3.2 4THz sensor 第43-45页
    3.3.3 6THz sensor 第45-46页
    3.3.4 传感器优化方案—盖层刻蚀 第46-48页
  3.4 基于微纳结构的太赫兹微流传感器的实验制备与组装 第48-53页
  3.5 基于微纳结构的太赫兹微流传感器的测试 第53-55页
    3.5.1 待传感液体的制备 第53页
    3.5.2 传感器的液体传感测试 第53-55页
  3.6 传感器测试实验数据的处理与性能评估 第55-56页
    3.6.1 传感器实验数据的处理 第55-56页
    3.6.2 传感器性能评估 第56页
  3.7 本章小结 第56-57页
第四章 论文总结 第57-58页
致谢 第58-59页
参考文献 第59-67页
攻读硕士学位期间取得的成果 第67-68页

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